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以三氯化铁蚀刻废液为例:工艺采用效连续蒸发模式,采用石墨蒸发器为主要设备,以蒸汽为热源,进行多效连续蒸发,达到气液分离的目的,整个系统在负压环境下,全部自循环。经实践反复验证能高效处理蚀刻废液,根据实际工艺要求三氯化铁溶液可回用,亦可直接做成三氯化铁六水晶体。实际解决了蚀刻废液处理的难题,大大降低处理成本。实现了废物综合利用,环保产生价值!